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ハイソルのアニール炉

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ハイソル株式会社

大気圧ランプアニール装置 (RTP・RTA) AccuThermo AW820M

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AccuThermoシリーズ高速熱処理装置は、強力な可視~赤外光照射により、最大1250℃、昇温速度150℃/secでウェハの加熱処理を行う赤外線ランプアニール装置 (RTP...


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ハイソル株式会社

大気圧ランプアニール装置 RTP・RTA 8インチ対応 AccuThermo AW820M

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■スタンドアローン・長時間プロセス 8インチ対応 RTAシステム AccuThermoシリーズ高速熱処理装置は、強力な可視~赤外光照射により、最大1250℃、昇温速度150℃...


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