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アリオスのアニール炉

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真空アニール装置-アリオス株式会社

アリオス株式会社

真空アニール装置

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■装置概要 本装置は3"～8"基板及び、真空部品などを真空中で200～600℃まで加熱するための高真空加熱装置 (アニール炉) です。イオンビームダメージ回復などの...


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