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■MODEL 3200 SERIES ・対象流体 気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ・最大流量 気体 1SCCM～20SLM ・精度 ±1%F.S. ・微少流量に対応 (N2換算でF.S.1SCCMか...
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■MODEL 3660 SERIES ・対象流体 気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ・最大流量 気体 10SCCM～100SLM ・精度 ±1～1.5%F.S. ・幅広い流量レンジに対応 (N2換...
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■MODEL 5100 SERIES ・対象流体 気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ・最大流量 気体 1SCCM～20SLM ・精度 ±1%F.S. ・メタルシール ・微少流量に対応 (N2換...
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■MODEL EX-201S SERIES ・マルチガス・マルチレンジ対応 (専用ソフトウェアで変更可能) ・コンパクト設計 ・S.P.精度で高精度な計測が可能、全流量制御範囲 ...
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マスフローコントローラ/メータは、メカニカルなフローメータやバルブに比較して、質量流量計測であるため温度や圧力の影響を受けづらく、また、流量を電気信...
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■MODEL HFC-303 SERIES ・対象流体 気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ・最大流量 気体 100～1000SLM ・精度 ±1%F.S. ・大流量に対応 (N2換算でF.S.1000SL...
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■対象流体 気体 ■最大流量 気体 100SCCM～30SLM ■精度 ・±1%S.P. (10～100%F.S.) ・±0.1%F.S. (2～10%F.S.) ・PI ：Pressure Insensitive ・圧力変動...
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■ST-500 SERIES ・PI...Pressure Insensitive 圧力変動に対し安定した流量制御が可能 ・ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシールMFCで、EP処理及び酸化被膜処...
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■対象流体 気体：N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量 気体：10SCCM～100SLM ■精度 ±1～1.5%F.S. 幅広い流量レンジに対応 (N₂換算でF.S.10SCCMからF...
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■対象流体 気体：N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量 気体：1SCCM～20SLM ■精度 ・±1%F.S. ・微少流量に対応 (N₂換算でF.S.1SCCMから) ・ダイヤフ...
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■対象流体 気体：N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量 気体：10SCCM～5SLM ■精度 ・±1%S.P. (25～100%F.S.) ・±0.25%F.S. (～25%F.S.) ・メタルシ...
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■対象流体 気体：N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量 気体：10SCCM～20SLM ■精度 ・±1%F.S. ・メタルシール ・微少流量に対応 (N₂換算でF.S.1SCCMか...
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■対象流体 気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量 気体：5SCCM～10SLM ■精度 ・±1%F.S. ・コンパクト設計 ・全流量制御範囲応答1sec以内 ・ロー...
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■対象流体 気体：N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等 ■最大流量 気体：10SCCM～100SLM ■精度 ・±1～1.5%F.S. ・幅広い流量レンジに対応 (N₂換算でF.S.10SCCMか...
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