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RGAシリーズ、ロープロファイル、高速回転ステージは、低荷重で大口径を必要とするが、ウェーハチャックなどのサンプルホルダーの高速で...
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RGAシリーズ、ロープロファイル、高速回転ステージは、低荷重で大口径を必要とするが、ウェーハチャックなどのサンプルホルダーの高速で...
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■特徴 ・ブラシレスダイレクト駆動方式により高速回転、高トルク、高い信頼性、および優れた位置感度を達成 ・115mm × 115mmの極めて狭...
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■特徴 ・ブラシレスダイレクト駆動方式により高速回転、高トルク、高い信頼性、および優れた位置感度を達成 ・115mm × 115mmの極めて狭...
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■特徴 ・平均寿命を低下させずに高速回転を実現するURSシリーズのベルト駆動モデル ・最大速度720°/s ・低価格モータを実装した分解能0....
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■特徴 ・10mmの精密垂直移動と360度の連続角度移動を実現する超薄型デザイン ・低質量と高い固有振動数により、すばやいステップ・アン...
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■特徴 ・10mmの精密垂直移動と360度の連続角度移動を実現する超薄型デザイン ・低質量と高い固有振動数により、すばやいステップ・アン...
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