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エピクエストの真空装置

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株式会社エピクエスト

マイクロチャンバ MC-600

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測定用基板を小型チャンバー内にセットし、真空引きガス導入及び加熱が可能です。また、チャンバー上部には観測用の窓を備え、顕微鏡による観察も可能です。


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株式会社エピクエスト

モバイルロードロックシステム

離れたチャンバ間のサンプル輸送を超高真空を保持した状態で行うことが可能です。 ◼︎特長 ・乾電池駆動可能な小型イオンポンプを装備した可搬型軽量真空装置...


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