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日本電子の電子ビーム描画装置

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日本電子株式会社

電子ビーム描画装置 (可変/スポット) JBX-A9 シリーズ

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■特長 ・高い描画精度と高いスループットを両立 ・安定性を追求した電子光学系 ・最大300 mm ウエハー対応 ・300 mm ウエハーFOUP への...




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