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北野精機の電子ビーム描画装置

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北野精機株式会社

ソース ミニ電子ビーム蒸着装置 EBV40A1

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■概要 EBV40A1は数原子層の膜を作製するためやMBE装置で作製した多層膜のドーパント用として開発された装置です。フラックスを監視しな...


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