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ファーストゲートの異物検査装置

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2 点の製品

ファーストゲート株式会社

パーティクル検査装置 YPI-MN

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■小型・高機能ウェハ表面検査装置 ・表面パーティクルスキャナ。新開発の高機能・省スペースタイプ。 ・小型省スペースながら最小検出粒...


ファーストゲート株式会社

透明基板異物検査装置 DF/WF-100

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■小型・高機能光学式外観検査装置 ・顕微鏡目視検査の自動化に最適。 ・ウェハ・基板の欠陥や異物を高速で検査。 ・一度に二つの面を検...


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