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使用用途
#検査装置
#半導体製造
駆動制御方式
電動サーボユニット
制御構成
閉ループ型
構造形態
分離型サーボユニット
多軸サーボユニット
ステージ有効ストローク mm
100 - 200
200 - 300
300 - 400
400 - 600
600 - 800
800 - 1,400
搭載リニアサーボモータ最大推力 N
200 - 300
300 - 500
500 - 600
600 - 700
質量 kg
36 - 50
50 - 80
80 - 120
120 - 170
耐荷重 kg
50 - 100
100 - 200
200 - 250
真直度 μm
3 - 5
5 - 10
10 - 15
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CKD日機電装株式会社
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補助制動ユニットとして、補助ブレーキユニット装置です。VPHシリーズ本体のエラー発生時及び停電等に、接続したモータがフリーランとな...
6種類の品番
CKD日機電装株式会社
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新発想 外周駆動方式の円弧型リニアサーボユニット ■微小角アライメント動作に最適 ストロークに応じてマグネットベースを最小数量で設...
5種類の品番
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リニアサーボモータを搭載した高精度ステージ サーボ制御技術との融合により、制御ステージを実現 ■高性能保証 (オプション) ・速度変...
7種類の品番
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リニアサーボモータを搭載した高精度ステージ サーボ制御技術との融合により、制御ステージを実現 ■高性能保証 (オプション) ・速度変...
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