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流量範囲 L/min

0 - 1 1 - 10

最大使用圧力 MPa

0 - 1

流体温度範囲 ℃

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200

出力 mA

0 - 5 15 - 20 20 - 25

電源電圧 VDC

20 - 30
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東京計装の微小流量計

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3 点の製品

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に UCUF液体微小流量用超音波流量計 UCUF-02M/ SFC-010L-東京計装株式会社

東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に UCUF液体微小流量用超音波流量計 UCUF-02M/ SFC-010L

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■概要 UCUF-02M/SFC-010Lは液体用超音波流量計です。純水、超純水や各種薬液などの微小流量を高精度測定できます。測定管路の口径は2.5m...


超音波流量計 洗浄装置、薬液供給装置の高温流量計測に 高温液体用小口径超音波流量計 UCUF-04MT/SFC-010T-東京計装株式会社

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超音波流量計 洗浄装置、薬液供給装置の高温流量計測に 高温液体用小口径超音波流量計 UCUF-04MT/SFC-010T

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■概要 高温用UCUF-04MT形超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量測定で実績のあるUCUFシリーズ超音波流量計を高温用に改良した流量...


超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Eシリーズ-東京計装株式会社

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超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Eシリーズ

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■概要 UCUF-Eシリーズ液体用超音波流量計は超純水や各種薬液などの小流量計測用に設計された流量計で、UCUF-E形検出器と、SFC形変換器で...


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1 超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Eシリーズ-東京計装株式会社

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2 超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Kシリーズ-東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に 液体用小流量用超音波流量計 UCUF-Kシリーズ

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3 超音波流量計 洗浄装置、薬液供給装置の高温流量計測に 高温液体用小口径超音波流量計 UCUF-04MT/SFC-010T-東京計装株式会社

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4 超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に UCUF液体微小流量用超音波流量計 UCUF-02M/ SFC-010L-東京計装株式会社

超音波流量計 洗浄装置、CMP装置の流量計測・制御に UCUF液体微小流量用超音波流量計 UCUF-02M/ SFC-010L

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5 流量計 装置組込み、実証プラントから一般プロセスまで 微小流量計測用の金属管面積流量計 マイクロフローメータM-900シリーズ-東京計装株式会社

流量計 装置組込み、実証プラントから一般プロセスまで 微小流量計測用の金属管面積流量計 マイクロフローメータM-900シリーズ

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6 流量計 微小高精度流量計測、警報接点付加可能 金属管面積流量計 マイクロフローメータMA-900シリーズ-東京計装株式会社

流量計 微小高精度流量計測、警報接点付加可能 金属管面積流量計 マイクロフローメータMA-900シリーズ

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