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関ケ原製作所の吸着盤

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精密製品 特殊品 真空吸着テーブル-株式会社関ケ原製作所
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株式会社関ケ原製作所

精密製品 特殊品 真空吸着テーブル

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■この製品について 高精度な平面に加工された石定盤に、溝 (最小0.2mm) や穴 (最小φ0.3) を施し、そこに真空圧でウェハやガラスを吸着・保持します。 表面の...


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