アリオスの加熱炉

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アリオス株式会社

真空アニール装置

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■装置概要 本装置は3"~8"基板及び、真空部品などを真空中で200~600℃まで加熱するための高真空加熱装置 (アニール炉) です。イオンビームダメージ回復などの...


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