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サカエのプレートヒータ

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半導体製造装置用 ホットプレート-株式会社サカエ

株式会社サカエ

半導体製造装置用 ホットプレート

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半導体製造装置に搭載され、前工程の塗布・現像工程に使用されています。高温対応のSiCも製造可能です。


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