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クアーズテックのプレートヒータ

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クアーズテック合同会社

ヒータープレート

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成膜装置用ヒーターには、高純度および耐プラズマ性とともに、ウェーハ全体に均一な熱分布が求められます。クアーズテックのヒーターは...




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