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#精密位置決め

オングストロームテクノロジーのピエゾステージ

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オングストロームテクノロジー株式会社

クローズドループピエゾアクチュエーター 荷重制御ピエゾステージ

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■特徴 ・荷重フィードバック制御 ・最大発生力 : 12N ・分解能 : 1mN ・応答性 : 30msec程度 ・用途 : チップマウンター、プローブ制御...




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