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入江株式会社
不活性ガス、腐食性ガス、ハイドライドガス CO2などの各ガス種に対応 ガスピューリファイヤー ゲートキーパー
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■特長 ・ガス中の不純物をPPTレベルに低減。 ・不活性ガス、腐食性ガス、ハイドライドガス、COなどの各ガス種に対応。 ・1SLMから1000SLMまでの各種サイズを...
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入江株式会社
コンパクトで高流量を実現 ウェハーガード シリーズ ウェハーガードMAX インラインガスフィルター
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■特長 ・コンパクトで高流量を実現。 ・0.003µm以上の粒子を99.9999999%以上除去。 ・特殊洗浄を施したクリーンな製品。 ・高品位316Lステンレス製ハウジング。
