Was ist ein schwingungsisolierter Tisch?
Ein schwingungsisolierter Tisch ist eine Vorrichtung, die dazu dient, die vom Boden, dem Fundament, dem Fußboden und anderen Umgebungen übertragenen Schwingungen zu reduzieren, damit sie nicht auf das Gerät übertragen werden.
Der Begriff Schwingungsisolierung, der auch als Schwingungsdämmung bezeichnet wird, bezieht sich darauf, dass die von der Umgebung erzeugten Schwingungen nicht auf das betreffende Gerät übertragen werden. Der ähnliche Begriff Schwingungsisolierung wird verwendet, um die Übertragung von Schwingungen, die von einer Schwingungsquelle erzeugt werden, auf die Umgebung zu verhindern. Der Begriff Schwingungsbekämpfung wird unterschiedlich verwendet, je nachdem, ob es darum geht, die Übertragung von bereits erzeugten Schwingungen zu verhindern oder Maßnahmen gegen die Schwingungsquelle zu ergreifen.
Ein anderer Begriff ist Schwingungsdämpfung, der sich auf die Dämpfung von Schwingungen durch direkte Einwirkung auf das Objekt bezieht, gegen das die Schwingung unterdrückt werden soll. Es gibt zwei Arten von schwingungsisolierten Tischen: passive Isolatoren, die Schwingungen aus der Umgebung unterdrücken und verhindern, und aktive Isolatoren, die mithilfe von Sensoren und Aktoren schwingungsdämpfende Bewegungen ausführen.
Anwendungen von schwingungsisolierten Tischen
Schwingungsisolierte Tische werden in Präzisionsbearbeitungsgeräten und als Basis für Elektronenmikroskope verwendet. Die Minimierung der Auswirkungen von Schwingungen ist für die Verarbeitung und Messung im Mikrometerbereich in Präzisionsmessgeräten, Prüfgeräten für die Halbleiter- und Flüssigkristallherstellung und Ultrapräzisionsbearbeitungsmaschinen unerlässlich.
Die Unterdrückung von Schwingungen ist auch für die Beobachtung unter starker Vergrößerung in Elektronenmikroskopen wichtig.
Funktionsweise der schwingungsisolierten Tische
Es gibt zwei Arten von schwingungsisolierten Tischen: passive und aktive. Keine der beiden Arten von Schwingungsisolatoren ist der anderen überlegen, und es ist wichtig, je nach Verwendungszweck, Umgebungsbedingungen und Eigenfrequenz der Schwingungen die am besten geeignete Methode zu wählen.
1. Passiver Typ
Passive schwingungsisolierte Tische kombinieren Elastizität, wie z. B. Federn, mit Viskosität, die wie ein Dämpfer wirkt. Die Elastizität, für die Federn ein typisches Beispiel sind, speichert vorübergehend Schwingungsenergie, indem sie sich verformt, und reduziert die Schwingungen durch vorübergehende Energiespeicherung.
Viskosität nutzt die Viskosität von Luft oder Flüssigkeit, um Schwingungsenergie durch Umwandlung in Wärme zu absorbieren. Der Dämpfer absorbiert Schwingungen, indem er die von der Feder gespeicherte Schwingungsenergie in Wärme umwandelt.
Die Bewegungsgeschwindigkeit der Feder und des Dämpfers ist ebenfalls ein Schlüsselfaktor für die Funktionsweise der Schwingungsisolierung. Wenn das Pendel langsam und deutlich bewegt wird, schwingt es weit, wenn es jedoch schnell und fein bewegt wird, bewegt es sich kaum.
2. Aktiver Typ
Bei aktiven schwingungsisolierten Tischen nimmt ein am Boden oder einer anderen Oberfläche befestigter Sensor ständig externe Schwingungen auf und erzeugt durch einen Aktuator Schwingungen, deren Frequenz der Schwingungsrichtung entgegengesetzt ist. Dadurch werden die externen Schwingungen und die von der schwingungsisolierten Tische erzeugten Schwingungen aufgehoben, so dass die Geräte nicht bewegt werden können.
Aktive schwingungsisolierte Tische lassen sich in zwei Regelungsmethoden unterteilen: die Rückkopplungsregelung, bei der die Schwingung des Geräts oder des Schwingungsisolators durch einen Sensor erfasst wird, und die Vorwärtsregelung, bei der die Schwingung des Bodens oder des Untergrunds erfasst wird.
Weitere Informationen zu schwingungsisolierten Tischen
Welche Schwingungsübertragungscharakteristiken zeigen die Leistung der Schwingungsisolierung an?
Die vertikale Achse ist der Schwingungsübertragungskoeffizient (db) und die horizontale Achse ist die Schwingungsfrequenz (Hz). Die Schwingungsübertragungskennlinie erreicht im Allgemeinen bei einer bestimmten Frequenz einen Spitzenwert, der die vertikale Achse bei 0 berührt, und fällt dann mit zunehmender Frequenz in einem sanften Bogen ab, wie die Kammlinie des Fuji.
Der Nullpunkt auf der vertikalen Achse ist der Zustand der Synchronisation, in dem der Schwingungsübertragungskoeffizient 0 db beträgt. Das Objekt bewegt sich in der gleichen Weise wie die Schwingungsquelle, so als wäre es eins mit der Quelle. Mit anderen Worten: Die Schwingung wird so übertragen, wie sie ist.
Der Spitzenwert der Schwingungsübertragungskennlinie ist der Zustand, der als Resonanz bezeichnet wird. Das bedeutet, dass das Objekt als Reaktion auf die erzeugte Schwingung sehr stark vibriert, und in einigen Fällen kann die Maschine zerstört werden. Resonanz ist ein Punkt, den es bei Maschinen zu vermeiden gilt. Der Bereich, in dem die Frequenz ab der Resonanz ansteigt und der Schwingungsübertragungskoeffizient negativ, also kleiner als Null wird, ist der Bereich der Schwingungsisolierung.
Bei der Auswahl eines schwingungsisolierten Tisches kann aus der Größe des Schwingungsübertragungskoeffizienten die Frequenz der Schwingungen in der Installationsumgebung ermittelt werden, um festzustellen, wie viel Schwingungen unterdrückt werden können.