真空発生器

真空発生器とは

真空発生器とは、真空状態を生成する装置です。

真空とは気体分子が存在しない空間を指し、その圧力は通常の大気圧よりも非常に低いレベルに保たれている状態のことです。真空発生器は物理学や工学分野において真空が必要な場合に使用される装置で、重要な役割を果たします。

エジェクター、真空ポンプ、真空ブロワの3種類が存在し、それぞれ用途によって使い分けます。真空発生器の中でもエジェクターは原動力が不要なため、遠隔地や不便な場所でも使用することが可能です。一方で、真空ポンプや真空ブロワは電動のため、効率よく真空をつくることができます。 

真空発生器の使用用途

さまざまな製造現場で活用される真空発生器は、半導体製造などにおける産業プロセスを支えるために使用されます。また、自動車産業では、物体を表面に密着させる「吸着」の原理を利用して車体やガラスの取り付け時、大きな部品を確実に保持するために不可欠です。

その他にも、医療現場や生活に身近な食品包装などに活用されています。

1. 半導体製造

真空発生器は、半導体製造などの微細な部品を作る際に高い真空度が必要とされます。真空発生器の用途として、高真空状態を作り出すことで物体を吸着させるというものがあります。

例えば、エッチングプロセスや蒸着プロセスにおいて、微細な部品を精確に配置するために、吸着を使って部品をハンドリングすることで、高度なプロセス制御が可能となります。

2. 医療機器の製造

医療機器の製造においては、高品質でクリーンな真空環境が必要とされます。例えば、血液分析装置や放射線治療機器の製造には真空発生器が使用されます。これにより、機器内部の汚染や気体の影響を最小限に抑え、正確な機能を実現します。

3. 食品包装

食品や製品の保存期間を延長し、鮮度を保つための真空包装などにも多く使用されます。例えば、スーパーなどに並ぶ肉や野菜などの鮮度を保つための真空包装は欠かせない装置です。

真空発生器の原理

真空発生器の基本的な原理は、気体分子を取り除くことで空間の圧力を下げるというものです。幅広い産業分野において使用されている装置で、電子デバイスの製造、化学反応の制御、空間シミュレーション、真空管の動作などに欠かせません。

1. エジェクター

エジェクターは、ポンプやコンプレッサーのように動力源を必要とせず、単純で信頼性の高い仕組みが特徴です。ベンチュリ―効果を用いて真空発生させます。エジェクター内は部分的に絞られた構造となっており、そこを駆動流体であるエアーが高速で通り抜けることで、部分的に真空になります。

2. 真空ポンプ

真空ポンプは、空気や気体を取り除き、容器内の圧力を低下させることで、真空を生成します。真空を生成する方法は、排気と吸着、拡散の3点です。

排気による方法では、機械的なポンプや分子ポンプを利用して気体を排出し、圧力を低下させます。具体的には、モーターの回転によりベーンが回り、ケーシング内の気体を密封しながら排出します。

吸着による方法では、吸着剤を使用して気体分子を吸着させ、空間内の圧力を下げます。拡散による方法では、気体分子の運動を制御することで圧力を減少させます。

3. 真空ブロワ

真空ブロワは、真空ポンプとは逆の原理で動作する装置です。圧縮空気を用いて真空を発生する機能を持っており、モーターを回すことで内蔵された羽を回転させて気体を取り込み、排気します。この吸気・排気過程により、容器内の圧力が低下し、真空が生成されます。

真空発生器の選び方

真空発生器を選ぶ際には、いくつかの重要な要素を考慮することが大切です。

1. 真空度

使用する産業や用途に応じて必要な真空度が異なるため、適切な真空度を選ばなければなりません。

2. 排気速度

排気速度は、装置がどれだけの量の気体を処理できるかを示す指標であり、作業効率に影響を与えます。高い排気速度が必要な場合は、それに適した真空発生器を選びます。

3. 耐久性・メンテナンス性

長期間安定した動作が求められる場合は、耐久性が高く、メンテナンスが容易な製品を選ぶことが重要です。

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