フラックポンプとは
フラックポンプとは、高真空領域でのガスの排気に使用される真空ポンプです。
一般的に、フラックポンプは、円筒形のガラス管内に配置された2つの筒状の部品である金属バレルで構成されています。これらのバレルは、内部に設置されたファンによって回転し、バレルの一方は真空ポンプに接続され、もう一方は排気したい容器に接続されます。バレルの回転により、ガス分子が排気側に向かって押し出されます。
大気圧よりもはるかに低い圧力が維持されている領域である高真空領域での使用に適しています。真空中での素粒子実験や化学反応の実験、半導体製造、医療機器の製造や研究開発、宇宙探査機や衛星の製造などで使われています。