エキシマレーザーとは
エキシマレーザーとは、希ガスやハロゲンといった混合ガスを使い、レーザー光を発生させる装置です。
エキシマレーザーは、主に紫外線領域（193nm・248nm・308nm・353nm）の光を発生させます。特定の分子が外部からエネルギーを受け取り、その結果、高いエネルギー状態に遷移する「励起（れいき）」によって、光が発生します。ガスレーザーの一種であり、フッ素・塩素などのハロゲンガスやキセノン・アルゴンなどの希ガスが使われます。
半導体の露光装置といった工業用としての使用のほか、近年では、眼科などの医療分野でも使用されています。特にレーシック手術（屈折矯正手術）では、角膜の形状を修正するために使われています。