Qu’est-ce qu’un moniteur à plaque chargée (CPM) ?
Les moniteurs à plaque chargée (CPM) sont des instruments de mesure qui évaluent les performances des ionisateurs en matière d’élimination de l’électricité statique. L’évaluation des performances des ionisateurs dans le but de contrôler l’électricité statique et l’élimination de l’électricité statique est spécifiée dans les normes internationales de la CEI. Les moniteurs à plaque chargée (CPM) sont utilisés pour évaluer et contrôler le temps d’ionisation et l’équilibre des ions.
Les moniteurs à plaque chargée (CPM) sont fournis avec une plaque métallique de taille prédéterminée, qui est chargée, puis l’ioniseur est activé pour mesurer le temps de décroissance de la charge statique. L’équilibre ionique est également évalué en laissant la plaque métallique non chargée et en mesurant le potentiel électrostatique de l’électrode après un certain temps.
Utilisations des moniteurs à plaque chargée (CPM)
Les moniteurs à plaque chargée (CPM) sont principalement utilisés pour mesurer et contrôler la performance d’ionisation des ionisateurs. Ils présentent l’avantage d’afficher visiblement l’intensité du champ, le potentiel de charge et le temps de décroissance des charges électrostatiques invisibles.
Parmi les exemples d’applications, citons la détection des décharges dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs et de cristaux liquides, l’identification de l’emplacement des décharges dans les processus de fabrication et de montage des composants électroniques et l’évaluation des produits d’élimination de l’électricité statique. Il est également utilisé pour déterminer les dysfonctionnements causés par les décharges électrostatiques dans les équipements électroniques et pour vérifier les mesures antistatiques dans les processus de fabrication. D’autres applications comprennent la mesure de la décroissance de la charge des outils et la détermination de l’efficacité antistatique des boîtiers et des sacs de stockage des semi-conducteurs.
Principe des moniteurs à plaque chargée (CPM)
Les ioniseurs éliminent l’électricité statique en générant des ions qui frappent l’objet. La mesure de la balance ionique, qui est le rapport de mélange des ions positifs et négatifs, est importante pour évaluer les performances de l’ioniseur. Une plaque métallique isolée électriquement et non chargée du moniteur à plaque chargée (CPM) est placée dans les ions sortant de l’ioniseur, et le potentiel électrostatique des électrodes est mesuré pour déterminer si la polarité et le potentiel électrostatique sont positifs ou négatifs et de combien ils s’écartent. Une balance ionique de 0 V correspond à la performance d’ionisation idéale de l’ionisateur. Les plaques métalliques doivent avoir un carré de 150 mm de côté et une capacité de 20 pF.
L’évaluation de la vitesse d’ionisation de l’ionisateur, appelée temps de décroissance, est mesurée par le moniteur à plaque chargée (CPM) comme le temps nécessaire à l’ionisateur pour neutraliser la charge électrostatique stockée dans l’électrode chargée avec une capacité de 20 pF. Le temps de décroissance est mesuré en mesurant le temps nécessaire pour que le potentiel de la plaque métallique chargée tombe à 10 %. Un temps de décroissance court a une forte capacité d’élimination de l’électricité statique, mais il faut faire attention aux semi-conducteurs, car ils peuvent être détruits s’ils sont éliminés en peu de temps par des ions très concentrés.