Was ist Poröse Spannfutter?
Poröse Spannfutter wird in Prüfgeräten und Trennsägen verwendet, da es die Funktion hat, das zu messende oder zu bearbeitende Objekt zu absorbieren. Die Tischoberfläche kann dünne Siliziumwafer und andere Materialien durch Unterdruck und eine poröse Struktur in einem flachen Zustand halten. Bei der Verwendung in Trennsägen werden Siliziumwafer in Breiten von 10-20 Mikrometern geschnitten, daher muss die Saugfläche für Siliziumwafer parallel und flach sein.
Das Spannfutter zeichnet sich dadurch aus, dass es dünne Objekte ohne Beschädigung oder Verformung hält.
Verwendungszwecke von Poröse Spannfutter
Bei der Verwendung in Halbleiterfertigungsanlagen lassen sie sich je nach Anwendung in vier Haupttypen unterteilen. Alle vier Typen haben das Potenzial, in Bereichen wie Mess- und Prüfgeräten eingesetzt zu werden.
Absorptionstische werden für Trennsägen, Schleif- und Poliermaschinen verwendet.
Heiztische werden für Klebemaschinen verwendet.
Spinnertische werden für Trennsägen, Lackbeschichtungsanlagen usw. verwendet.
Stumpftische werden für Stumpfklebemaschinen usw. verwendet.
Prinzip des Porösen Spannfutters
Zu den porösen Materialien gehören Edelstahlkorn und Aluminiumoxidkeramik, während zu den Körpermaterialien Titan, Edelstahl und Aluminium gehören. Diese Materialien werden je nach Anwendung eingesetzt.
Poröse Aluminiumoxid-Keramik wird als poröse Keramik und gehärtetes Edelstahlpulver als poröses Metall bezeichnet. Sie können in verschiedenen Größen hergestellt werden, um der jeweiligen Anwendung gerecht zu werden.
Poröse Keramik kann eingefärbt werden. Im Allgemeinen werden dunklere Farben wie Dunkelblau, Braun und Schwarz verwendet. Die dunkle Farbe verhindert die Erkennung von Schmutz und Reflexionen durch Lichteinfall auf das Werkstück und sorgt so für ein klares Bild.
Der allgemeine Typ besteht aus einem Metallkörper und einem porösen Keramikkörper. Auf der gegenüberliegenden porösen Oberfläche befindet sich eine Rille, die das Werkstück aufnimmt, so dass beim Auflegen des Werkstücks ein Unterdruck von der Mitte des Körpers ausgeht und sich über die gesamte poröse Oberfläche ausbreitet. Die poröse Oberfläche ist so konzipiert, dass sie den Unterdruck gegen das Werkstück durch die Porosität aufnimmt. Je feiner die Körnung des porösen Materials ist, desto höher ist die Ebenheit, da eine gröbere poröse Körnung zu Unebenheiten auf der Oberfläche des Werkstücks führt.