流量センサー

流量センサーとは

流量センサー

流量センサーとは、気体から液体まで流体の流量を測定する計測器です。

流量計として扱われる場合もあります。流量とは、1つの断面を単位時間に通過する流体の体積、または重量を表したものです。

流量センサーには、流体回路を流れる流体に異常がないか監視する目的のアナログ式の流量センサーもあれば、ガス供給量などを一定量に調整するためにフィードバック制御機構へつなげるデジタル式のものなど、さまざまなタイプがあります。

流量センサーの使用用途

流量センサーは以下の分野で使われています。

1. 油圧機器・製薬/化学薬品・食品分野

主に製造工程内で原料の投入量の管理に使用されています。これら分野で使われるのは容積式の流量センサーです。

2. 工業用ガス・燃料ガス・排ガスの測定

工場で使用される工業用のガスや燃料となるガスの使用量、排気ガスの管理に使われます。サーマルマスフローメータとも呼ばれる熱式質量流量計が主流です。

3. 飲料水・ソース類・可燃性/爆発性の流体

食品関係や危険性の高い流体では、流体に触れない非接触測定が求められ、そのために電磁式流量センサーが使われます。

4. 工業設備・水処理施設

工場や水処理施設において、流量管理のために流量センサーが用いられます。特に既存の経路に流量センサーを追加する際に用いられるのは、超音波式のセンサーです。

5. LNGプラント・自動車業界・化学業界・薬品業界

さまざまな製造現場で、流量センサーが使われています。多く使われているのはコリオリ式の流量センサーです。

6. 化学業界・薬品業界

天然ガスや水蒸気を扱う工場では、カルマン渦式の流量センサーが広く使われています。

流量センサーの原理

流量センサーは、測定する対象流体の性質や測定の目的に応じて、さまざまな計測形式が採用されています。ここでは空気や水など一般的な流体に適用可能な、差圧式の流量センサーの原理について説明します。

差圧式流量計では用いられる原理は、ベルヌーイの定理です。一定のサイズの流体の流路中に、意図的に流路を狭めると流体には圧力損失が生じることにより圧力差が生まれます。この圧力差をベルヌーイの法則に当てはめて、流速を算出します。

流路を狭める仕組みにどのような機構を使うかによって、オリフィス型やノズル型などさまざまな種類がありますが、その前後での流体の圧力差を測定原理としている点は全て同じです。

流量センサーの選び方

測定する流体の種類によって、適切な流量センサーは異なります。気体用か液体用かを間違えると誤った流量を認識してしまうのはもちろんのこと、有害な物質や可燃性の物質の流量測定に誤った流量センサーを選定してしまうと、大きな事故につながるリスクもあります。そのため、まずは測定したい物質の性質を精査することから始めることが重要です。

また、流量センサーは一般に広いレンジを一度に計測することはできません。あらかじめ想定される流量が決まっているのであれば、そのレンジに合わせた精度の高い流量センサーを選定すると良いです。

流量センサーのその他情報

1. クランプオン式流量センサーについて

クランプオンとは、計測したい流体が流れる配管の外側に計器を取り付けることです。クランプオン式流量センサーには、超音波式流量計や超音波式流量センサーがあります。

計測したい対象が超音波で測定できる流体などであれば、測定機器として使用することが可能です。超音波式流量計には、伝搬時間差式やドップラー方式を利用した周波数を計測する方式などがあります。超音波式流量計のメリットは、配管を取り外したり切断したりしなくても取り付けることが可能なので、設置した際のコストが抑えられることです。

また、施工後のメンテナンス性が大幅に向上すること、配管内の圧力損失がなくなることもメリットとして挙げられます。反対にデメリットは、配管の外側に取り付けるため、直管部の長さが必要であること、配管の口径なども関係してくること、計測する流体に固形物や気泡が多いと計測ができなくなることなどです。

2. エアー流量計について

エアー流量計には、クランプオン式流量計やねじ接続式流量計などがあります。ねじ接続式では直感部が不要になり、計測機器が小型で省スペースで使えます。

従来のエアー流量計は、測定する気体が圧縮性流体ならば、熱式質量流量計が使われてきました。熱式質量流量計にはいくつかの測定方法があり、キャピラリ式では、管内に抵抗値をもつフローエレメントを設置し、管外側にヒーターを巻き付けることでヒーター両側の温度センサが流量バランスを測定しています。

しかし、熱式質量流量計は汚れに弱く低圧環境が得意ではないため、オイルミストが多い設備には不向きです。現在の熱式質量流量計は、フローセンサ式が主流です。

この形式は半導体のフローセンサによって構成されており、測定範囲が広く汚れを気にせずに、低圧な環境でも利用できます。

参考文献
https://www.keyence.co.jp/ss/products/process/flowmeter/
https://www.hitech-flow.co.jp/product/usflow_list.html
https://www.fujielectric.co.jp/products/instruments/products/flow_ultra/top.html
https://www.oval.co.jp/techinfo/keisoku/ultrasonic.html
https://www.keyence.co.jp/ss/products/process/flowmeter/type/ultrasonic.jsp
https://www.pisco.co.jp/product/detail/d/d01/
https://www.compoclub.com/products/knowledge/mf/netu_kiso1.html
http://www.ksplz.info/
https://www.aichitokei.co.jp/products/flowmeter/trx25_32-2/

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