ウェットステーションとは
ウェットステーションとは、電子部品や半導体の製造工程において基板や部品の洗浄を担当する装置です。
洗浄により、表面の汚れや不純物が除去され、製品の品質向上や歩留まりの向上が期待できます。洗浄液はアルカリ性や酸性などで構成され、洗浄対象物の性質に応じて最適な液体が選択されます。電子部品製造や半導体製造、他にも医療機器や自動車部品など幅広い分野で利用されています。製品の品質向上や製造過程での確実な洗浄を実現します。
仕組みには主にバッチ式と連続式の2つがあり、バッチ式は洗浄槽に基板や部品を一括して浸漬する方法で、シンプルでコストが低い特長があります。対照的に連続式は基板や部品を連続的に洗浄槽に投入し、生産性向上が可能で大量生産に向いています。