バキュームマニホールドとは
バキュームマニホールドとは、真空環境を生成するためのデバイスです。
真空ポンプから供給された真空を複数の機器や装置に分配するのに使用されます。動作原理は、真空ポンプから供給された真空がバキュームマニホールドのチャンバーに充填され、その後各ポートから機器や装置に真空が分配される仕組みです。
このデバイスは真空機器、半導体製造装置、医療機器などで幅広く利用されており、構造は真空を保持するチャンバー、真空を分配するポート、そしてポートの開閉を制御するバルブで構成されています。バキュームマニホールドの特徴は、複数の機器や装置に真空を分配できる点と、真空環境を安定して維持できる点が挙げられます。メリットとしては複数の機器への真空分配や安定環境の維持が挙げられます。