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Limpiadoras de Plasma

¿Qué son las Limpiadoras de Plasma?

Las limpiadoras de plasma son dispositivos que aplican plasma sobre la superficie de objetos para llevar a cabo procesos de limpieza. El plasma, al entrar en contacto con la sustancia no deseada en la superficie del objeto, genera una reacción química que transforma dicha sustancia en otra forma más fácil de eliminar, permitiendo así su limpieza efectiva.

Las limpiadoras de plasma se utilizan en muchas industrias, y son particularmente indispensables en la industria de semiconductores, donde se utilizan para eliminar resistencias y residuos de resistencias de las obleas. También se utilizan en el ensamblaje de circuitos integrados para limpiar y reforzar la unión de los cables.

Usos de las Limpiadoras de Plasma

Como ya se ha mencionado, el uso principal de las limpiadoras de plasma en la industria de semiconductores es eliminar sustancias orgánicas (resistencias) de las obleas, etc., pero también se utilizan en muchas otras industrias, incluyendo

  • Montaje de circuitos integrados
    Mejora de la fuerza de adhesión de los electrodos base, etc.
  • Relacionado con materiales
    Pretratamiento de revestimientos de materiales poliméricos, etc.
  • Mecatrónica
    Tratamiento de limpieza de piezas de automoción, etc.
  • FPD
    Mejora de la fuerza de adhesión de paneles LCD, etc.
  • Ingeniería
    Adhesión de lentes, pretratamiento de revestimientos, etc.

Principio de las Limpiadoras de Plasma

Las limpiadoras de plasma son utilizados para limpiar objetos mediante la aplicación de plasma sobre su superficie. El plasma es un estado en el que una sustancia se encuentra altamente energizada, lo que provoca la separación de moléculas en cationes y electrones. Esta sustancia en estado de plasma es pulverizada sobre el objeto que se desea limpiar.

La elección de la sustancia utilizada para generar el plasma depende del tipo de contaminante que se desea eliminar. Existen diversos tipos de sustancias que se emplean en este proceso, siendo el oxígeno, el argón y los clorofluorocarbonos algunos ejemplos comunes.

Por ejemplo, si se desea eliminar materia orgánica de la superficie del objeto, se aplica plasma de oxígeno, el cual reacciona con la materia orgánica transformándola en agua y dióxido de carbono, que posteriormente son eliminados del objeto.

En otro caso, si se pretende eliminar el subóxido de cobre presente en la superficie de un objeto de cobre, se puede utilizar plasma de argón. Esta sustancia generará una reacción con el subóxido de cobre, formando peróxido de cobre, que puede ser eliminado durante el proceso de limpieza.

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