フローコントローラーとは
フローコントローラーとは、液体や気体の流量を制御する装置です。
動作原理は制御弁方式、オリフィス方式、ロータリ式の3つがあり、それぞれ構造や制御精度に違いがあります。化学プラント、食品工場、医療機器、半導体製造装置、自動車、エネルギー設備など様々な場所で利用され、センサー、コントローラー、制御弁、アクチュエータなどで構成されています。
制御弁方式は、バルブの開閉度を変えて流量を制御し、シンプルで低コストながら精密な制御が難しい特徴があります。オリフィス方式は、流路にオリフィスを設置して流量を制限する方法で、構造がシンプルで低コストですが、流量変化への影響を受けやすいです。ロータリ式は回転体を利用して流量を制御し、精密な制御が可能ですが高価で構造が複雑です。