排気操作・成膜操作が自動で可能 バッチ式高真空蒸着装置 eiシリーズ 株式会社アルバック
この製品について
■特長
・多様な蒸発源を搭載可能 (EB、抵抗、EB+抵抗) ・プロセスに応じた基板ホルダ (リフトオフ、プラネタリ、サテライトetc.) ・Φ2in~6in基板、矩形基板、Si、化合物、ガラス、セラミック各種基板対応 ・液晶タッチパネル上での集中表示・操作 ・PCによる優れた操作性・機能 (レシピ機能・データロギング・メンテナンスアシスト機能)■用途
・パワーデバイス等の化合物関連 ・LED、LD、高速デバイス ・各種実験用 ・その他電子部品全般-
シリーズ
排気操作・成膜操作が自動で可能 バッチ式高真空蒸着装置 eiシリーズ
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取扱企業
株式会社アルバック
蒸着装置注目ランキング
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排気操作・成膜操作が自動で可能 バッチ式高真空蒸着装置 eiシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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eiシリーズ |
要見積もり |
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