さまざまな有機・無機材料を成膜 有機・無機複合成膜装置 VEPシリーズ
株式会社アルバック
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この製品について
■特長
・単機能の真空処理室から複数の成膜室を組み合わせることが可能です。 ・真空中で連続して一連の処理が可能です。 ・有機材料に対して蒸気圧に応じた蒸発源が選択できます。 ・将来希望する任意の処理室を接続可能です。■用途
・分子デバイス ・バイオセンサ ・有機EL/半導体 ・層間絶縁膜 ・有機機能薄膜-
シリーズ
さまざまな有機・無機材料を成膜 有機・無機複合成膜装置 VEPシリーズ
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取扱企業
株式会社アルバック
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さまざまな有機・無機材料を成膜 有機・無機複合成膜装置 VEPシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | チャンバー材質 | チャンバーサイズ | 基板サイズ | 排気系 | 到達圧力 | 基板加熱 | 基板搬送 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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VEP-1000シリーズ |
要見積もり | ステンレス製 | 直径350mm×高さ650mm | 直径2インチ又は2インチ角 | 油拡散ポンプ又はターボ分子ポンプ | 10^-4Pa以下 | 最高温度250℃ | 圧空式水平搬送方式 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
