テストウェハ-N型150mm SCL | XCSW製 化合物・半導体結晶 Si結晶基板・シリコンウェハ
株式会社トゥーリーズ
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ウェハサイズ
スクラッチ、チップ、ピールなど
ドーパント
パーティクル (max)
プライマリフラット
ラジアル比抵抗変化量
前面
厚さ
平行度
抵抗値
結晶育成法
裏面
転位密度
面方位
インチ
基板厚
比抵抗
研磨面
粒子
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型番
テストウェハ-N型150mm SCL
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取扱企業
株式会社トゥーリーズ
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XCSW製 化合物・半導体結晶 Si結晶基板・シリコンウェハ テストウェハ-N型150mm SCLの性能表
| 商品画像 | 価格 (税抜) | ウェハサイズ | スクラッチ、チップ、ピールなど | ドーパント | パーティクル (max) | プライマリフラット | ラジアル比抵抗変化量 | 前面 | 厚さ | 平行度 | 抵抗値 | 結晶育成法 | 裏面 | 転位密度 | 面方位 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | 150±0.5mm | 無し | リン (P) | ≧0.3um,30 |
長さ：57.5±2.5mm 面方位： (110) ±2°SEMI準拠 セカンダリフラット：SEMI準拠 |
15% | 鏡面研磨 | 675±25um |
BOW (max) : 60um TIR (max) : 6um TAPER (max) : 12um WARP (max) : 60um |
4~7ohm.cm | (1-100) CZ | エッチド | <5,000/cm² | <100>±2° |
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のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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