高剛性Z軸ピエゾステージ P-733.Z (ピーアイ・ジャパン株式会社) のカタログ情報

高剛性Z軸ピエゾステージ P-733.Z

製品個別カタログ

カタログ紹介

高 い平面度と真直度が要求される位置決めに最適!Z軸ピエゾステージ。

P-733.Zピエゾ垂直ステージは、100μmのポジショニングおよびスキャニングレンジをサブナノメーターの分解能で提供します。

50×50mmのクリアアパーチャで、顕微鏡にも最適です。

これらはセットリング時間が10ミリ秒未満と速く、高いスループット率を実現します。

【特徴】
・移動範囲 100μm
・静電容量センサーで直接計測
・分解能~0.3nm(クローズドループ時)
・開口部50mmx50mm
・追加の自由度を持つ他のバージョンも利用可能
・XY、XYZバージョンあり

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログについて

カタログ名
高剛性Z軸ピエゾステージ P-733.Z
取り扱い企業
ピーアイ・ジャパン株式会社
該当カテゴリ
ピエゾステージ
カタログタイプ
製品個別カタログ

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