アクティブ除振台・微振動制御装置 (特許機器株式会社) のカタログ情報
アクティブ除振台・微振動制御装置
製品個別カタログ
カタログ紹介
内蔵から外付け、3点から多点支持まで可能！ 設置環境・装置仕様にあわせたアクティブ微振動制御システム
「αシリーズ」除振台・除振ユニットは、微振動制御技術の粋を結集した空圧アクティブ微振動制御システムです。
半導体・デジタル産業の発展に伴い、製造工程が多い上に、超微細加工を行います。
半導体製造装置、半導体露光装置、半導体検査装置、基板検査装置、マスク検査装置など、
快適性・生産性向上のため、設置環境の振動絶縁と装置の直動外乱を素早く解消する技術が求められています。
また、先端技術に携わる大学、研究機構、電子顕微鏡メーカー/使用者、精密機器メーカーなども
微振動環境を求めています。
αシリーズは、このような市場の要望を応え、優れた除振性能、制振性能及び位置復元性能を有し、世界各国に提供しています。
【特長】
◆優れた振動絶縁性能
フィードバック+フィードフォワードのダブルアクティブ制御で卓越かつ安定した性能を発揮
◆優れた制振性能
装置の直動外乱を瞬時に感知し、素早く整定させます
◆多彩なバリエーション
※詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
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