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CVD装置『nanoCVD-8G/8N』グラフェン/CNT合成装置
(テルモセラ・ジャパン株式会社) のカタログ
CVD装置『nanoCVD-8G/8N』グラフェン/CNT合成装置
(テルモセラ・ジャパン株式会社) のカタログ情報
CVD装置『nanoCVD-8G/8N』グラフェン/CNT合成装置
製品個別カタログ
カタログ紹介
CVD装置『nanoCVD-8G/8N』グラフェン/CNT合成装置
◉ 大型製造装置設備を使わず、短時間で容易にグラフェン・CNT(SWNT)合成実験が可能
◉ 1バッチわずか30分!
◉ コールドウオール式による高効率・高精度プロセスコントロール
◉ 急速昇温:RT→1100℃/約3分間
◉ 高精度温度流量制御・再現性に優れたハイパフォーマンス機
◆特徴◆
・簡単操作! 5inchタッチパネルによる操作
・レシピ管理
・最大30レシピ,30stepのプログラム作成可能
・専用ソフトウエア標準装備,CSVファイルで出力PCでデータロギング
・USBケーブル接続,PC側でのレシピ作成→装置へアップロード可能
・最大試料サイズ:40 x 40mm:銅(ニッケル)箔, SiO2/Si, Al2O3/Si基板,他
◆Model. nanoCVD-8G(グラフェン用)◆
・グラフェン生成用,真空プロセス制御
・ロータリーポンプ標準付属(オプション:TMP, Diffusion or Dry Pump)
・ガス供給3系統(標準)
・試料加熱ステージMax1100℃
・Kタイプ熱電対
◆Model. nanoCVD-8N(CNT用)◆
・CNT生成用,常圧プロセス制御
他同上
カタログについて
- カタログ名
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CVD装置『nanoCVD-8G/8N』グラフェン/CNT合成装置
- 取り扱い企業
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テルモセラ・ジャパン株式会社
- 該当カテゴリ
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グラフェン
成膜装置
CVD装置
- カタログタイプ
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製品個別カタログ