ウエハ外観検査装置 (オカノ電機株式会社) のカタログ情報
ウエハ外観検査装置
製品個別カタログ
カタログ紹介
オカノ独自の検査機能「適応学習方式」を採用した外観検査装置
過検出を抑えつつ微細欠陥を捕らえる適応学習方式を採用。抽出した欠陥の特徴を利用した決め細やかな判定機能を有しています。検査領域毎に最適な欠陥抽出・判定条件の設定が可能となります。ローコストハイパフォーマンスのウェハチップ外観検査装置となります。
また、お客様のご要望に合わせて各種カスタム対応も可能です。
過検出を抑えつつ微細欠陥を捕らえる適応学習方式を採用。抽出した欠陥の特徴を利用した決め細やかな判定機能を有しています。検査領域毎に最適な欠陥抽出・判定条件の設定が可能となります。ローコストハイパフォーマンスのウェハチップ外観検査装置となります。
また、お客様のご要望に合わせて各種カスタム対応も可能です。
