蒸着装置『MiniLab-026/090-GBグローブボックス薄膜実験装置 』 (テルモセラ・ジャパン株式会社) のカタログ情報
蒸着装置『MiniLab-026/090-GBグローブボックス薄膜実験装置 』
製品個別カタログ
カタログ紹介
蒸着装置『MiniLab-026/090-GBグローブボックス薄膜実験装置 』
小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。
OLED（有機EL）, OPV（有機薄膜太陽電池）, OTFT（有機薄膜太陽電池）, 又, グラフェン・2D材料（遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元層状無機ナノ材料）などの成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。 MiniLab-026/090-GBでは、PVD/CVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省スペース環境で実現。 【特徴】
◉ PVD成膜、スピンコート塗布・ホットプレートベーキングなど一連の作業を外気に晒すことなく、GB内でシームレスに行うことができます。
◉ 省スペース：背面にチャンバーがせり出しませんので、スペ
ースを取りません。 【MiniLab対象】
◉ MiniLab-026（26ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリング、プラズマエッチング、アニール
◉ MiniLab-090（90ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリグ、プラズマエッチング、アニール
【GB対応 MiniLab-026/090主仕様】
◉ チャンバ：SUS304製 UHV対応（*090はスライドドア式, 背面メンテナンスドア）
◉ 19inch制御ラックは作業ベンチ下に収納
◉ MLチャンバー内成膜モジュール：
・抵抗加熱蒸着源（最大4源）
・有機蒸着源（最大4源）
・Φ2"マグネトロン（最大3基）
・プラズマエッチング（最大Φ6inchステージ）
・基板加熱ステージなどを搭載
◉ 高精度膜厚制御
◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ（ドライスクロールポンプオプション）
◉ 豊富なオプション
小型・省スペース! 有機薄膜開発に好適 蒸着・スパッタ・アニール等全ての作業をグローブボックス内でシームレスに行う事ができます。
OLED（有機EL）, OPV（有機薄膜太陽電池）, OTFT（有機薄膜太陽電池）, 又, グラフェン・2D材料（遷移金属ダイカルコゲナイドなどの二次元層状無機ナノ材料）などの成膜プロセスでは、酸素・水分から隔離された不活性ガス雰囲気で試料を取扱う必要があります。 MiniLab-026/090-GBでは、PVD/CVDチャンバーをGB内に収納することにより有機膜用途の「酸素・水分フリー」実験環境をコンパクトな省スペース環境で実現。 【特徴】
◉ PVD成膜、スピンコート塗布・ホットプレートベーキングなど一連の作業を外気に晒すことなく、GB内でシームレスに行うことができます。
◉ 省スペース：背面にチャンバーがせり出しませんので、スペ
ースを取りません。 【MiniLab対象】
◉ MiniLab-026（26ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリング、プラズマエッチング、アニール
◉ MiniLab-090（90ℓ容積）：金属/絶縁物/有機材料蒸着、スパッタリグ、プラズマエッチング、アニール
【GB対応 MiniLab-026/090主仕様】
◉ チャンバ：SUS304製 UHV対応（*090はスライドドア式, 背面メンテナンスドア）
◉ 19inch制御ラックは作業ベンチ下に収納
◉ MLチャンバー内成膜モジュール：
・抵抗加熱蒸着源（最大4源）
・有機蒸着源（最大4源）
・Φ2"マグネトロン（最大3基）
・プラズマエッチング（最大Φ6inchステージ）
・基板加熱ステージなどを搭載
◉ 高精度膜厚制御
◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ（ドライスクロールポンプオプション）
◉ 豊富なオプション
カタログについて
- カタログ名
- 蒸着装置『MiniLab-026/090-GBグローブボックス薄膜実験装置 』
- 取り扱い企業
- テルモセラ・ジャパン株式会社
- 該当カテゴリ
- 蒸着装置 スパッタリング装置 成膜装置
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
