フォトリソグラフィ用材料 (フォトレジスト) UVレーザー直描用フォトレジスト GRX-Mシリーズ-GRX-Mシリーズ
フォトリソグラフィ用材料 (フォトレジスト) UVレーザー直描用フォトレジスト GRX-Mシリーズ-ナガセケムテックス株式会社

フォトリソグラフィ用材料 (フォトレジスト) UVレーザー直描用フォトレジスト GRX-Mシリーズ ナガセケムテックス株式会社

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この製品について

めまぐるしく進展する昨今の超微細半導体やフラットパネル製造の世界において、その製造プロセスも多様化が進み、適用可能材料の迅速な開発力が必要とされています。弊社ではリフトオフプロセスに対応した特徴的なフォトレジスト (感光性材料) を開発しています。 リフトオフプロセスは金属エッチング処理による配線加工工程が不要なメリットがあり、工程短縮や使用材料の削減に貢献します。お客様の個別のニーズ、細かなご要望にあわせた材料開発もご相談を承ります。

■特徴

・スピンコーター・CAPコーターでの塗工が可能。 ・大型ガラス基板での良好な塗布性を有する。 ・露光波長域:g線~i線 (ブロードバンド対応) 。 ・レーザー描画に適している。 ・有機/無機アルカリ現像可能 ・組成の最適化により、レーザー直描時の大型ガラス基板上での線幅面内均一性を向上。 ・パターン形状の最適化により、メタルエッチング性を向上。 ・サイドエッチング量が少ない、優れた基板密着性。 ・良好な剥離性

■用途

液晶ディスプレイ、マスクブランクス

  • シリーズ

    フォトリソグラフィ用材料 (フォトレジスト) UVレーザー直描用フォトレジスト GRX-Mシリーズ



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フォトリソグラフィ用材料 (フォトレジスト) UVレーザー直描用フォトレジスト GRX-Mシリーズ 品番1件

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GRX-Mシリーズ

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

ナガセケムテックス株式会社は、1970年に設立された樹脂製品メーカーです。 帯電防止剤の製造販売、透明電極形成材料の製造販売、ペースト添加剤の製造販売、フォトリソグラフィ用材料の製造販売、金属イオン除去剤の製造販売、接...

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