分析事例｜PCOR-SIMSによる極低エネルギーBoronイオン注入試料の熱処理後 の特性評価 (ユーロフィンイーエージー株式会社) のカタログ情報
分析事例｜PCOR-SIMSによる極低エネルギーBoronイオン注入試料の熱処理後 の特性評価
ノウハウカタログ
カタログ紹介
半導体デザインルールの微細化が進む現代において、極低エネルギー（ULE）ホウ素イオン注入の正確な評価は不可欠です 。EAGは、この課題に応えるべく、独自の革新的なSIMS分析技術「PCOR-SIMSSM」を開発しました 。
従来のSIMS分析では困難であった、ウェーハ表面数ナノメートル以内のホウ素プロファイルや表層酸化層の歪みを排除し 、PCOR-SIMSはポイントごとのデータ最適化により、
最も正確なULEホウ素プロファイルの測定を実現します 。これにより、真の接合深さを高精度に把握できるだけでなく 、アニール後のホウ素の再分布も、従来の非現実的なプロファイルとは異なり、物理モデルと一致した形で検出可能です 。
従来のSIMS分析では困難であった、ウェーハ表面数ナノメートル以内のホウ素プロファイルや表層酸化層の歪みを排除し 、PCOR-SIMSはポイントごとのデータ最適化により、
最も正確なULEホウ素プロファイルの測定を実現します 。これにより、真の接合深さを高精度に把握できるだけでなく 、アニール後のホウ素の再分布も、従来の非現実的なプロファイルとは異なり、物理モデルと一致した形で検出可能です 。
カタログについて
- カタログ名
- 分析事例｜PCOR-SIMSによる極低エネルギーBoronイオン注入試料の熱処理後 の特性評価
- 取り扱い企業
- ユーロフィンイーエージー株式会社
- 会社区分
- メーカー
- 該当カテゴリ
- 半導体製造装置 元素分析装置 半導体パッケージ 質量分析計 表面分析 半導体スパッタリング
- カタログタイプ
- ノウハウカタログ
