スパッタ・蒸着ソース混在 複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】 (テルモセラ・ジャパン株式会社) のカタログ情報
スパッタ・蒸着ソース混在 複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】
製品個別カタログ
カタログ紹介
スパッタカソード・蒸着ソース（抵抗加熱・有機蒸着）混在型薄膜実験装置'nanoPVD-ST15A'
抵抗加熱蒸着源（金属蒸着）、有機蒸着源（有機材料）、マグネトロンスパッタ（金属・絶縁材）、3種類の成膜コンポーネントをチャンバー内に設置、様々な薄膜実験装置に1チャンバーで対応が可能です。
◉組み合わせは3種類
1. スパッタカソード + 抵抗加熱蒸着源x2
2. スパッタカソード + 有機蒸着源x2
3. スパッタカソード + 抵抗加熱源x1 + 有機蒸着源x1（*DCスパッタのみ）
・蒸着範囲：Φ4inch/Φ100mm
・真空排気系：ターボ分子ポンプ + 補助ポンプ（ロータリー、又はドライスクロールポンプ）
・基板回転、上下昇降ステージ
・Max500℃基板加熱ヒーター
・水晶振動子膜厚センサー
・7”タッチパネルHMI操作（’IntelliLink’ WindowsPCリモート監視ソフト付属）
抵抗加熱蒸着源（金属蒸着）、有機蒸着源（有機材料）、マグネトロンスパッタ（金属・絶縁材）、3種類の成膜コンポーネントをチャンバー内に設置、様々な薄膜実験装置に1チャンバーで対応が可能です。
◉組み合わせは3種類
1. スパッタカソード + 抵抗加熱蒸着源x2
2. スパッタカソード + 有機蒸着源x2
3. スパッタカソード + 抵抗加熱源x1 + 有機蒸着源x1（*DCスパッタのみ）
・蒸着範囲：Φ4inch/Φ100mm
・真空排気系：ターボ分子ポンプ + 補助ポンプ（ロータリー、又はドライスクロールポンプ）
・基板回転、上下昇降ステージ
・Max500℃基板加熱ヒーター
・水晶振動子膜厚センサー
・7”タッチパネルHMI操作（’IntelliLink’ WindowsPCリモート監視ソフト付属）
カタログについて
- カタログ名
- スパッタ・蒸着ソース混在 複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】
- 取り扱い企業
- テルモセラ・ジャパン株式会社
- 該当カテゴリ
- 蒸着装置 スパッタリング装置 成膜装置
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
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