AMAYA_APCVD brochure (株式会社渡辺商行) のカタログ情報

AMAYA_APCVD brochure

製品個別カタログ

カタログ紹介

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)

量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)

【特徴】
 ・~56枚/hの高生産性 (対応ウェハサイズ: ~12インチ)
 ・真空・プラズマ不要 (熱CVD)
 ・SiCトレー採用による重金属汚染(メタルコンタミネーション)対策
 ・シンプルメンテナンス
 ・低CoO(低ランニングコスト)

カタログについて

カタログ名
AMAYA_APCVD brochure
取り扱い企業
株式会社渡辺商行
会社区分
商社・代理店
該当カテゴリ
CVD装置
カタログタイプ
製品個別カタログ

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