AMAYA_APCVD brochure (株式会社渡辺商行) のカタログ情報
AMAYA_APCVD brochure
製品個別カタログ
カタログ紹介
高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)
【特徴】
・～56枚/hの高生産性 (対応ウェハサイズ: ～12インチ)
・真空・プラズマ不要 (熱CVD)
・SiCトレー採用による重金属汚染(メタルコンタミネーション)対策
・シンプルメンテナンス
・低CoO(低ランニングコスト)
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)
【特徴】
・～56枚/hの高生産性 (対応ウェハサイズ: ～12インチ)
・真空・プラズマ不要 (熱CVD)
・SiCトレー採用による重金属汚染(メタルコンタミネーション)対策
・シンプルメンテナンス
・低CoO(低ランニングコスト)
