蒸着装置『MiniLab-026フレキシブル薄膜実験装置』 (テルモセラ・ジャパン株式会社) のカタログ情報
蒸着装置『MiniLab-026フレキシブル薄膜実験装置』
製品個別カタログ
カタログ紹介
小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合わせてフレキシブルに構成
必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。
マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。
グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）。
フレキシブルにカスタマイズが可能な豊富なオプション部品を揃えております。
◉ 最大基板サイズ：Φ6inch
◉ 抵抗加熱蒸着源フィラメント、ルツボ、ボート式（最大4源）
◉ 有機蒸着ソース：1cc or 5cc
◉ Φ2inchマグネトロンカソード（最大3源）
◉ ドライエッチング
◉ グローブボックス搭載可能（オプション 要仕様協議）
◉ その他オプション：
2源同時成膜、HiPIMS、自動薄膜コントローラ、特注基板ホルダ、基板回転/昇降、基板加熱などオプション豊富。
※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構成致します。
【主仕様】
◉ チャンバ：SUS304製 クラムシェル式
◉ 19inchシングル式ラックに全てを収納
◉ 抵抗加熱蒸着源（最大4源）、有機蒸着源（最大4源）、又はΦ2"マグネトロン（最大3基）、基板加熱ステージなどを搭載
◉ 高精度膜厚制御
◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ（ドライポンプオプション）
◉ グローブボックス連結仕様（*要仕様協議）
◉ 豊富なオプション：基板加熱/冷却, 回転, 特型基板ホルダ, etc..
必要最小限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。
マグネトロンスパッタ（最大3源）もしくは抵抗加熱蒸着（金属源 最大4、有機材料x4）に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。
グローブボックス収納タイプもございます（*要仕様協議）。
フレキシブルにカスタマイズが可能な豊富なオプション部品を揃えております。
◉ 最大基板サイズ：Φ6inch
◉ 抵抗加熱蒸着源フィラメント、ルツボ、ボート式（最大4源）
◉ 有機蒸着ソース：1cc or 5cc
◉ Φ2inchマグネトロンカソード（最大3源）
◉ ドライエッチング
◉ グローブボックス搭載可能（オプション 要仕様協議）
◉ その他オプション：
2源同時成膜、HiPIMS、自動薄膜コントローラ、特注基板ホルダ、基板回転/昇降、基板加熱などオプション豊富。
※ まずはご要求の仕様をご連絡下さい、ご要望に合わせシステム構成致します。
【主仕様】
◉ チャンバ：SUS304製 クラムシェル式
◉ 19inchシングル式ラックに全てを収納
◉ 抵抗加熱蒸着源（最大4源）、有機蒸着源（最大4源）、又はΦ2"マグネトロン（最大3基）、基板加熱ステージなどを搭載
◉ 高精度膜厚制御
◉ ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ（ドライポンプオプション）
◉ グローブボックス連結仕様（*要仕様協議）
◉ 豊富なオプション：基板加熱/冷却, 回転, 特型基板ホルダ, etc..
カタログについて
- カタログ名
- 蒸着装置『MiniLab-026フレキシブル薄膜実験装置』
- 取り扱い企業
- テルモセラ・ジャパン株式会社
- 該当カテゴリ
- 蒸着装置 スパッタリング装置 プラズマエッチング装置
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
