スパッタリング装置『MiniLab-060フレキシブル薄膜実験装置』 (テルモセラ・ジャパン株式会社) のカタログ情報
スパッタリング装置『MiniLab-060フレキシブル薄膜実験装置』
製品個別カタログ
カタログ紹介
コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置
下記蒸着源から組合せが可能
・抵抗加熱蒸着源 x 最大4
・有機蒸着源 x 最大4
・電子ビーム蒸着
・2inchマグネトロンスパッタリングカソード x 4
・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能
【主仕様】
・SUS304 60ℓ容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー
*ラージチャンバーオプションMiniLab-070（450 x 450 x 450）
・最大基板サイズ：Φ8inch
・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可）
・真空排気：真空/ベント自動制御
・抵抗加熱蒸着：最大4源（Model. TE1～TE4蒸着源）
・有機蒸着：最大4源（Model. LTEC-1cc/5cc)
・電子ビーム蒸着：7ccるつぼｘ６（又は4ccるつぼｘ8）
・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大４源
・プロセス制御：手動/自動連続多層膜・同時成膜、APC自動制御
・膜厚モニタ：水晶振動子センサヘッドｘ２
・膜厚制御：MiniLab制御プログラム"IntelliDep", 及びInficon社 SQM-160（又はSQC-310） 2ch/4ch薄膜コントローラ
・ユーティリティ：電源200V ３相 15A, 水冷3ℓ/min, N2ベント0.1Mkpa
・その他オプション：基板加熱, 冷却, 基板昇降・回転, プラズマエッチング, ドライポンプ , ロードロック機構
下記蒸着源から組合せが可能
・抵抗加熱蒸着源 x 最大4
・有機蒸着源 x 最大4
・電子ビーム蒸着
・2inchマグネトロンスパッタリングカソード x 4
・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能
【主仕様】
・SUS304 60ℓ容積 400x400x400mm フロントローディングチャンバー
*ラージチャンバーオプションMiniLab-070（450 x 450 x 450）
・最大基板サイズ：Φ8inch
・ポンプ：ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ（ドライポンプも可）
・真空排気：真空/ベント自動制御
・抵抗加熱蒸着：最大4源（Model. TE1～TE4蒸着源）
・有機蒸着：最大4源（Model. LTEC-1cc/5cc)
・電子ビーム蒸着：7ccるつぼｘ６（又は4ccるつぼｘ8）
・Φ2〜4inchマグネトロンスパッタリングカソード x 最大４源
・プロセス制御：手動/自動連続多層膜・同時成膜、APC自動制御
・膜厚モニタ：水晶振動子センサヘッドｘ２
・膜厚制御：MiniLab制御プログラム"IntelliDep", 及びInficon社 SQM-160（又はSQC-310） 2ch/4ch薄膜コントローラ
・ユーティリティ：電源200V ３相 15A, 水冷3ℓ/min, N2ベント0.1Mkpa
・その他オプション：基板加熱, 冷却, 基板昇降・回転, プラズマエッチング, ドライポンプ , ロードロック機構
カタログについて
- カタログ名
- スパッタリング装置『MiniLab-060フレキシブル薄膜実験装置』
- 取り扱い企業
- テルモセラ・ジャパン株式会社
- 該当カテゴリ
- 蒸着装置 スパッタリング装置 プラズマエッチング装置
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
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