スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ フレキシブル薄膜実験装置』 (テルモセラ・ジャパン株式会社) のカタログ情報
スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ フレキシブル薄膜実験装置』
製品総合カタログ
カタログ紹介
モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立が可能。様々な研究用途に対応可能な小型薄膜実験装置。
MiniLab R&D用実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込むことにより、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で搭載することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。
MiniLabシリーズは、研究開発から小規模生産用途まで幅広く対応するハイコストパフォーマンスシステムです。
【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置 構成モジュール】
◉ 成膜モジュール
抵抗加熱蒸着（TE）、有機膜蒸着（LTE）、電子ビーム蒸着（EB）、RF/DCスパッタリング（SP）、T-CVD/PE-CVD、プラズマエッチング（RIE）
◉ チャンバー
・026（26Litter）-TE/LTE/SP/CVD/Etch/*Globe Box option：MaxΦ6inch
・060（60Litter）-TE/LTE/EB/SP/Etch/：MaxΦ8inch
・080（80Litter）-TE/LTE/EB/SP/Etch/：MaxΦ10inch
・090（90Litter）*Globe Box option -TE/LTE/EB/SP/Etch/：MaxΦ10inch
・125（125Litter）-TE/LTE/EB/SP/Etch/CVD：MaxΦ12inch
※ その他詳細仕様は当社までお問合せ下さい。
MiniLab R&D用実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材質に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込むことにより、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で搭載することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロセス実験への応用が可能になります。
MiniLabシリーズは、研究開発から小規模生産用途まで幅広く対応するハイコストパフォーマンスシステムです。
【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置 構成モジュール】
◉ 成膜モジュール
抵抗加熱蒸着（TE）、有機膜蒸着（LTE）、電子ビーム蒸着（EB）、RF/DCスパッタリング（SP）、T-CVD/PE-CVD、プラズマエッチング（RIE）
◉ チャンバー
・026（26Litter）-TE/LTE/SP/CVD/Etch/*Globe Box option：MaxΦ6inch
・060（60Litter）-TE/LTE/EB/SP/Etch/：MaxΦ8inch
・080（80Litter）-TE/LTE/EB/SP/Etch/：MaxΦ10inch
・090（90Litter）*Globe Box option -TE/LTE/EB/SP/Etch/：MaxΦ10inch
・125（125Litter）-TE/LTE/EB/SP/Etch/CVD：MaxΦ12inch
※ その他詳細仕様は当社までお問合せ下さい。
カタログについて
- カタログ名
- スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ フレキシブル薄膜実験装置』
- 取り扱い企業
- テルモセラ・ジャパン株式会社
- 該当カテゴリ
- 蒸着装置 スパッタリング装置 プラズマエッチング装置
- カタログタイプ
- 製品総合カタログ
