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薄膜ガラス洗浄装置 EREZAC取扱企業
株式会社エアロ・ピュアカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 洗浄範囲 | 対象ワーク | 基板供給方式 | ワーク治具 | ワーク固定方式 | スクラブツール | スクラブ動作 (範囲) | スクラブ速度 | スクラブ加圧 | 洗浄液タンク容量 | 洗浄槽 | 洗浄液 | 一次側ユーティリティ | ポンプ | 制御操作 | 給油 | 排気 | 架台 | 外寸 幅 | 外寸 奥行 | 外寸 高さ | 重量 | 保証期間 |
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EE831 |
要見積もり | 207×295 (max) | ウエハ4 (T=0.5) 、硝子207×295、レンズφ8 (7=8) 、フィルムA4 (max) | オペレーターによる手動 | 打合せによる | バキューム式 (ただし片面がフラット) | 打合せによる選択 | 往復max350mm | 10~450mm/SEC (スピコンモーター仕様) | おもり (重さの単位については打合せによる) | 40L (標準タンクはSUS製) | 13L (液面レベルは、ステージより 16mmで、オーバフロート) | イレイザクリーン及びイレイザリンス | 200V 左縮空気/常用0.4~0.5MPa φ8 N2も同様でφ6 | マグネットポンプ (安増防爆タイプ) | 押ボタンSW | 手作業による給油 | 必要に応じ排気口及びダクト工事要す | アルミフレーム (アジャスタボルト及びキャスター付) | 960mm | 1,220mm | 1,500mm | 約300kg | 納入据付及び立ち合い検収時点より1年間 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。