ウェーハ自動剥離装置 (PHT株式会社) のカタログ情報
ウェーハ自動剥離装置
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半導体製造には，非常にクリーンな環境での高速搬送が求められる．当社で提供している半導体処理設備に用いられるウェーハ自動剥離装置も，そのような要求に応えるように他社に先駆けてさまざまな工夫がなされている．その高い信頼性と生産性はワールドワイドのお客さまから評価されています。最先端の業界スタンダード装置として、最先端技術と多様なニーズに対応すべく進化し続けています。
ワイヤーソー（スライス）後のウェーハ自動剥離装置
本装置はワイヤーソー（スライス）後のウェーハをプレート治具（ビーム）から剥離する装置（剥離洗浄機）です。粗洗浄を行い、ウェーハをプレート治具（ビーム）から剥離し、枚葉洗浄を経てウェーハのカセット収納まで全自動で行うシステムです。
ワイヤーソー（スライス）後のウェーハ自動剥離装置
本装置はワイヤーソー（スライス）後のウェーハをプレート治具（ビーム）から剥離する装置（剥離洗浄機）です。粗洗浄を行い、ウェーハをプレート治具（ビーム）から剥離し、枚葉洗浄を経てウェーハのカセット収納まで全自動で行うシステムです。
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