高性能アクティブ除振台 (株式会社東京インスツルメンツ) のカタログ情報
高性能アクティブ除振台
製品個別カタログ
カタログ紹介
SEM、TEM、SPM、AFM、半導体製造装置などに後付可能
分解能を最大限に引き出せる革新的アクティブ除振台
アクティブ除振台 特長
■ リニアモーター搭載：軽量化＆超ロングアクチュエータストロークを実現
■ 6自由度アクティブ制御(AIによる自動調整機能)
■ 除振範囲：0.5～100Hz
■ 内蔵オシロスコープで振動レベルをリアルタイムモニタリング
■ 内蔵スペクトルアナライザで周波数、振動速度、加速度をリアルタイムモニタリング
■ ワークステーション環境にシームレスで組込み
■ 立ち上げ後の再チューニング不要
■ カスタマイズ可能
■ モジュラータイプは制御台数無制限
分解能を最大限に引き出せる革新的アクティブ除振台
アクティブ除振台 特長
■ リニアモーター搭載：軽量化＆超ロングアクチュエータストロークを実現
■ 6自由度アクティブ制御(AIによる自動調整機能)
■ 除振範囲：0.5～100Hz
■ 内蔵オシロスコープで振動レベルをリアルタイムモニタリング
■ 内蔵スペクトルアナライザで周波数、振動速度、加速度をリアルタイムモニタリング
■ ワークステーション環境にシームレスで組込み
■ 立ち上げ後の再チューニング不要
■ カスタマイズ可能
■ モジュラータイプは制御台数無制限
カタログについて
- カタログ名
- 高性能アクティブ除振台
- 取り扱い企業
- 株式会社東京インスツルメンツ
- 会社区分
- 商社・代理店
- 該当カテゴリ
- 除振台
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
