i線ステッパー露光装置 (株式会社インターテック販売) のカタログ情報
i線ステッパー露光装置
製品個別カタログ
カタログ紹介
Canon製FPA3000/Nikon製NSRのサービスを行っております。
i線ステッパーであるFPA3000シリーズは、標準的なシリコンウェハ量産機としての実績に加え、
化合物ウェハの特長である反りや重さに対する対応力が高く、その分野でも広く支持されています。
弊社では適正在庫の保持に尽力し、現像機・顕微鏡・CDSEMを備えたデモ環境を整えております。
【装置改造】
■ 中古装置リファービッシュ販売
■ ウェハサイズ変更
■ レチクルサイズ変更
■ レチクルチェンジャータイプ変更
■ チャンバー冷媒改造
【部品販売】
【部品修理】
■ 基盤類修理
【定期メンテナンス】
【移設業務】
■ 構内移設
■ 工場移設
【トラブル対応】
【仕様】
■ FPA3000iw
6” 〇
8” 〇
解像度 0.8μm
倍率 1/2
NA 1/2
■ FPA3000iw
4” 〇
5” 〇
6” 〇
8” 〇
解像度 0.35μm
倍率 1/5
NA 0.45~0.63
■ FPA3000i5
4” 〇
5” 〇
6” 〇
8” 〇
解像度 0.35μm
倍率 1/5
NA 0.45~0.63
■ FPA3000i5+
4” 〇
5” 〇
6” 〇
8” 〇
解像度 0.35μm
倍率 1/5
NA 0.45~0.63
i線ステッパーであるFPA3000シリーズは、標準的なシリコンウェハ量産機としての実績に加え、
化合物ウェハの特長である反りや重さに対する対応力が高く、その分野でも広く支持されています。
弊社では適正在庫の保持に尽力し、現像機・顕微鏡・CDSEMを備えたデモ環境を整えております。
【装置改造】
■ 中古装置リファービッシュ販売
■ ウェハサイズ変更
■ レチクルサイズ変更
■ レチクルチェンジャータイプ変更
■ チャンバー冷媒改造
【部品販売】
【部品修理】
■ 基盤類修理
【定期メンテナンス】
【移設業務】
■ 構内移設
■ 工場移設
【トラブル対応】
【仕様】
■ FPA3000iw
6” 〇
8” 〇
解像度 0.8μm
倍率 1/2
NA 1/2
■ FPA3000iw
4” 〇
5” 〇
6” 〇
8” 〇
解像度 0.35μm
倍率 1/5
NA 0.45~0.63
■ FPA3000i5
4” 〇
5” 〇
6” 〇
8” 〇
解像度 0.35μm
倍率 1/5
NA 0.45~0.63
■ FPA3000i5+
4” 〇
5” 〇
6” 〇
8” 〇
解像度 0.35μm
倍率 1/5
NA 0.45~0.63
カタログについて
- カタログ名
- i線ステッパー露光装置
- 取り扱い企業
- 株式会社インターテック販売
- 該当カテゴリ
- 半導体露光装置
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
