アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』 (テルモセラ・ジャパン株式会社) のカタログ情報

アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』

製品個別カタログ

カタログ紹介

アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』

Φ6inch、Φ8inchウエハーアニール装置
研究開発から小規模生産まで多目的に幅広く対応するハイパフォーマンス機

◉Max2000℃(真空中1x10-2Pa, Ar, N2)

◉ヒーター材質:

・C/Cコンポジット:Φ6〜Φ8inch

◉使用雰囲気:

・真空・不活性ガス(グラファイト)

◉試料台:φ6inch〜φ8inch, 枚葉式、又はバッチ式(多段5枚カセット)
◉PLCセミオート運転
・真空/パージサイクル、ベントの自動シーケンス制御
・フルオート自動運転(オプション)
・タッチパネル操作、操作が分散せず一元管理が可能です。
◉プロセス圧力制御
・APCコントロール(MFC流量、又は自動開度調整バルブ PIDループ制御)
・MFC最大3系統流量自動制御、又はフロートメーター/ニードルバルブの手動調整
◉PLOT画面グラフ表示、CSVデータ出力

◆主仕様◆
・断熱材:グラファイトフェルト、タングステン、モリブデン、アルミナ、ジルコニアなど(*炉内設計により異なります)
・チャンバー開閉:トップローディング、リニアドライブ駆動(又はダンパー付手動開閉)
・到達真空度:1x10-2Pascal(空炉の場合)
・真空ポンプ:ドライスクロールポンプ
・熱電対:Cタイプ熱電対(設計温度条件によってはKタイプを採用)
・インターロック:チャンバー過昇温、ヒーター過昇温、冷却水断水、チャンバー開閉、真空度
・用力:200V, 50A(*仕様により異なります)3相
・冷却水:8L/min,0.4Mpa
・寸法(筐体部):1240(W) x 590(D) x 1160(H)mm
◆オプション◆
・るつぼ内温度測定用熱電対追加
・高真空ポンプ(ターボ分子ポンプ)
・フロントビューポート
・フルオートコントロール
・基板回転ステージ
・通信機能(温調計機能使用)、又はSECS/GEM通信

カタログについて

カタログ名
アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』
取り扱い企業
テルモセラ・ジャパン株式会社
該当カテゴリ
真空炉 電気炉 アニール炉
カタログタイプ
製品個別カタログ

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