アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』 (テルモセラ・ジャパン株式会社) のカタログ情報
アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』
製品個別カタログ
カタログ紹介
アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』
Φ6inch、Φ8inchウエハーアニール装置
研究開発から小規模生産まで多目的に幅広く対応するハイパフォーマンス機
◉Max2000℃（真空中1x10-2Pa, Ar, N2）
◉ヒーター材質：
・C/Cコンポジット：Φ6〜Φ8inch
◉使用雰囲気：
・真空・不活性ガス（グラファイト）
◉試料台：φ6inch〜φ8inch, 枚葉式、又はバッチ式（多段5枚カセット）
◉PLCセミオート運転
・真空/パージサイクル、ベントの自動シーケンス制御
・フルオート自動運転（オプション）
・タッチパネル操作、操作が分散せず一元管理が可能です。
◉プロセス圧力制御
・APCコントロール（MFC流量、又は自動開度調整バルブ PIDループ制御）
・MFC最大3系統流量自動制御、又はフロートメーター/ニードルバルブの手動調整
◉PLOT画面グラフ表示、CSVデータ出力
◆主仕様◆
・断熱材：グラファイトフェルト、タングステン、モリブデン、アルミナ、ジルコニアなど（*炉内設計により異なります）
・チャンバー開閉：トップローディング、リニアドライブ駆動（又はダンパー付手動開閉）
・到達真空度：1x10-2Pascal（空炉の場合）
・真空ポンプ：ドライスクロールポンプ
・熱電対：Cタイプ熱電対（設計温度条件によってはKタイプを採用）
・インターロック：チャンバー過昇温、ヒーター過昇温、冷却水断水、チャンバー開閉、真空度
・用力：200V, 50A（*仕様により異なります）3相
・冷却水:8L/min,0.4Mpa
・寸法（筐体部）：1240(W) x 590(D) x 1160(H)mm
◆オプション◆
・るつぼ内温度測定用熱電対追加
・高真空ポンプ（ターボ分子ポンプ）
・フロントビューポート
・フルオートコントロール
・基板回転ステージ
・通信機能（温調計機能使用）、又はSECS/GEM通信
Φ6inch、Φ8inchウエハーアニール装置
研究開発から小規模生産まで多目的に幅広く対応するハイパフォーマンス機
◉Max2000℃（真空中1x10-2Pa, Ar, N2）
◉ヒーター材質：
・C/Cコンポジット：Φ6〜Φ8inch
◉使用雰囲気：
・真空・不活性ガス（グラファイト）
◉試料台：φ6inch〜φ8inch, 枚葉式、又はバッチ式（多段5枚カセット）
◉PLCセミオート運転
・真空/パージサイクル、ベントの自動シーケンス制御
・フルオート自動運転（オプション）
・タッチパネル操作、操作が分散せず一元管理が可能です。
◉プロセス圧力制御
・APCコントロール（MFC流量、又は自動開度調整バルブ PIDループ制御）
・MFC最大3系統流量自動制御、又はフロートメーター/ニードルバルブの手動調整
◉PLOT画面グラフ表示、CSVデータ出力
◆主仕様◆
・断熱材：グラファイトフェルト、タングステン、モリブデン、アルミナ、ジルコニアなど（*炉内設計により異なります）
・チャンバー開閉：トップローディング、リニアドライブ駆動（又はダンパー付手動開閉）
・到達真空度：1x10-2Pascal（空炉の場合）
・真空ポンプ：ドライスクロールポンプ
・熱電対：Cタイプ熱電対（設計温度条件によってはKタイプを採用）
・インターロック：チャンバー過昇温、ヒーター過昇温、冷却水断水、チャンバー開閉、真空度
・用力：200V, 50A（*仕様により異なります）3相
・冷却水:8L/min,0.4Mpa
・寸法（筐体部）：1240(W) x 590(D) x 1160(H)mm
◆オプション◆
・るつぼ内温度測定用熱電対追加
・高真空ポンプ（ターボ分子ポンプ）
・フロントビューポート
・フルオートコントロール
・基板回転ステージ
・通信機能（温調計機能使用）、又はSECS/GEM通信
カタログについて
- カタログ名
- アニール炉『MiniLab-WCF 超高温ウエハーアニール炉』
- 取り扱い企業
- テルモセラ・ジャパン株式会社
- 該当カテゴリ
- 真空炉 電気炉 アニール炉
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
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