低圧力損失大流量用マスフローメータ MODEL HFM-200W/LS SERIES (コフロック株式会社) のカタログ情報
低圧力損失大流量用マスフローメータ MODEL HFM-200W/LS SERIES
製品個別カタログ
カタログ紹介
■対象流体：気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量：気体 1500～15000SLM
■精度：±3～5%F.S.
■大流量に対応(N₂換算でF.S.15000SLMまで)
■最大流量：気体 1500～15000SLM
■精度：±3～5%F.S.
■大流量に対応(N₂換算でF.S.15000SLMまで)
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