精密電解研磨 技術ガイド (東陽理化学株式会社) のカタログ情報
精密電解研磨 技術ガイド
ノウハウカタログ
カタログ紹介
この「精密電解研磨 技術ガイド」は、半導体製造装置部品に最適なRa0.02μm以下の超平滑面を実現する最先端の表面処理技術について解説した資料です。
原子レベルでの表面制御により、微粒子発生抑制、洗浄性向上、アウトガス低減、耐食性30％向上といった効果を実現します。
独自電極設計で複雑形状や内面も均一に処理でき、ガス供給配管、バルブ、チャンバーなど多様な部品に適用可能です。
ISO9001・14001認証の環境で全数検査・トレーサビリティを確保し、クリーンルーム一貫工程で最高品質を保証。
用途事例や技術的特長に加え、寸法変化の目安、対応材質、環境・安全対策などFAQも掲載。導入プロセス（初回相談〜試作評価〜最適化〜量産）や品質保証体制、技術サポート内容も記載しており、半導体分野の高純度・高清浄度要求に応えるための総合的な情報がまとまった一冊です。
原子レベルでの表面制御により、微粒子発生抑制、洗浄性向上、アウトガス低減、耐食性30％向上といった効果を実現します。
独自電極設計で複雑形状や内面も均一に処理でき、ガス供給配管、バルブ、チャンバーなど多様な部品に適用可能です。
ISO9001・14001認証の環境で全数検査・トレーサビリティを確保し、クリーンルーム一貫工程で最高品質を保証。
用途事例や技術的特長に加え、寸法変化の目安、対応材質、環境・安全対策などFAQも掲載。導入プロセス（初回相談〜試作評価〜最適化〜量産）や品質保証体制、技術サポート内容も記載しており、半導体分野の高純度・高清浄度要求に応えるための総合的な情報がまとまった一冊です。
