白色干渉 3D高精細形状測定 heliInspect (株式会社リンクス) のカタログ情報
白色干渉 3D高精細形状測定 heliInspect
製品個別カタログ
カタログ紹介
サブミクロンレベルの3D形状計測をワンショット0.5秒で撮影します。
非接触で高精度かつ高速な3次元計測が可能です。
微細な欠陥検出などのインライン外観検査で活躍します。
メーカー：heliotis
heliotis社はスイス政府が支援するマイクロエレクトロニクス分野の世界最先端の研究機関であるCSEM社での長年の研究成果をベースに、
2005年にスピンアウトする形で設立されました。
3次元計測機 heliInspect は光干渉法を採用しており対象物の3次元形状をサブミクロンレベルで高精度に計測します。
